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相位台

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相位台

  • 详细介绍

小型旋转台

1.采用了划时代性模组结构的超薄型平台

在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。

2. 高刚性、高精度

高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。

3. 超薄型、轻量化、中空结构

中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用

4 .润滑系统

在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。

5. 产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。

6. 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命

产品应用:

1. 面板贴膜

2. 3D网版印刷

3.玻璃侧角及磨边设备

4. Wafe对位设备

5.  P.C.D曝光设备

6. 软体裁切设备

7. 半导体设备

产品型号

SNS700UVW6X6X4

工作台面尺寸(mm)

170x170

基座尺寸(mm)

180x180

行程(mm)

±6x±6

中心角度(θ)

±4°

滚珠螺杆导程(mm)

1

高度(mm)

50

中孔(mm)

60

水平负债能力(Kgf)

15

主体材料

铝合金

工作台表面处理

黑色表面处理

往复定位精度(μm)

2

电机类型

2相步进

电机输出轴形式

28单输出轴

本体重量(Kg)

5

 



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